抛光垫

抛光垫

多孔性对抛光液具有良好的储存性能,保持抛光效率的稳定性。


产品特点:

(1)由聚氨酯树脂发泡制成,具有较强的耐磨性和多孔性;

(2)耐磨性可使抛光垫持续保持优异的平坦度;

(3)多孔性对抛光液具有良好的储存性能,保持抛光效率的稳定性。

 

抛光垫

 

可供规格:

型号 密度(LB/FT3) 硬度
SL-4387 68 SHORE D  69
LP-57C 33 SHORE A  88
SP-66C 28 SHORE D  36

注:

(1)开槽抛光垫最小厚度1mm;

(2)标准槽深为抛光垫厚度1/2;

(3)可以为客户不同开槽要求定制。

应用领域:

广泛用于碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆、硅晶圆、陶瓷材料、金属及合金、 硬盘等产品的高速平面抛光。


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