研磨垫

金刚石研磨垫属于固结磨料研磨技术范畴,通过独特设计的垫子构造,采用金刚石微粉与树脂螯合而成,可用于玻璃基板(微晶、石英、硼硅酸盐、白板、蓝宝石)、半导体晶圆(单晶硅、碳化硅)、压电端子(钽酸锂)以及精密陶瓷(氧化铝、氮化铝、氮化硅)等硬脆材料的研磨减薄工序。


研磨垫

产品特点:

(1)对加工工件加工区具有较高的选择性,而对加工工件的材质没有选择性,已较少的材料去除量即可达到加工工件的全局平坦化效果;

(2)加工效率高,功耗时间少;

(3) 具有一定的弹性,在研磨压力下磨料具有一定的退让性,因此使用同样粒度的磨料进行研磨时,固结磨料研磨加工后的工件表面质量较好;

(4)磨料颗粒是固着在研磨垫上,具有较长的使用寿命,提高了磨料利用率,节约了成本、更加环保;

(5)在固结磨料研磨垫的磨料层出现钝化想象时,可仅通过修刃处理即可恢复固结磨料研磨垫的锋利性,保持材料去除率的稳定一致;

(6) 加工后工件易于清洗,能保证加工后工件的表面质量。

应用领域:

应用于微晶玻璃、石英玻璃、氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷等硬脆材料的研磨。


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